真空泵有哪几种 _真空泵

文章插图
真空泵的分类：
按工作原理分类：
1、气体输送泵，包括变容真空泵、动量传输泵；
2、气体捕集泵，包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。
按真空度分类：
1、粗真空度；
2、高真空度，包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵；
【真空泵有哪几种】3、超高真空度。